掃描電鏡是用電子打在樣品上，用電子束成像。這主要是因為電子的波長小，光的波長在400到700納米量級，而電子的波長公式是 lambda=h/(mv)，一般用的電壓是80kV 到 300kV，電子的波長就是在0.01納米左右，和原子的大小接近。更短波長的好處，是可以觀測到更小尺寸的東西，否則會因為波的衍射和干涉無法分辨。通常看到的生物樣品，和高倍昆蟲圖片，是用掃描電鏡拍到的，實際上這是電子顯微鏡中放大倍數(shù)最低的，純科普的。這些其實還可以用光學顯微鏡看。我們說的「顏色」是可見光的顏色，對于電子來說，它不是光，因此沒有顏色一說。因此樣品成像無顏色

        掃描電子顯微鏡目前最廣泛的用途是看電子元件，像CPU現(xiàn)在都是25納米制程，這些的檢查都是用高分辨率的掃描電鏡。還有一些生物樣品，比如骨頭斷面組織之類也會用到掃描電鏡。還有納米線的形貌像（外觀）。

       善時儀器SS-150系列，采用二次電子和背散射電子兩種探測器。同時配備4個可選光闌（30、50、100、200um），通過改變電子束大小可提供高分辨率圖像。